[发明专利]一种人造金刚石制备工艺及其设备

摘要

本发明涉及金刚石制备领域，具体涉及一种人造金刚石制备工艺及其设备，一种人造金刚石制备工艺，包括如下步骤：对衬底进行处理，具体如下：对衬底进行清洗干燥；制备金刚石微粉浆料，并将该浆料涂覆于衬底表面，烘干后得到复合衬底；将所述复合衬底至于氧气环境下，并在600‑800℃下进行加热，得到所需衬底，备用；采用热丝化学气相沉积法在所述所需衬底上生长得到金刚石薄膜。在600‑800℃这个温度区间加热，氧气会把石墨中的碳元素氧化成二氧化碳，进而排出，如此一来削减了石墨结构，二来二氧化碳排出后，金刚石微粉涂层中会形成少许微米级的微孔。