[发明专利]一种硅片生产用的抓取装置

摘要

本发明公开了一种硅片生产用的抓取装置，包括：连接板；若干个支架，彼此间隔的设置在连接板上；若干个夹持机构,包括第一驱动装置、两个支撑件、若干个手指夹杆和若干个辅助支撑装置，手指夹杆上设置有卡槽，若干个手指夹杆分别设置在两个支撑件两侧，且每个支撑件两侧的手指夹杆上的卡槽相互垂直，第一驱动装置倾斜的设置在支架上用于驱动两个支撑件远离或靠近。本发明采用模拟人的手指方式固定硅片的四个边角，以达到夹住的目的，同时对硅片进行校正动作，且在与硅片接触时，最大限度的减少对硅片的磨损，减少不良率；对硅片放置时的定位要求远远低于吸盘的方式，这样降低了定位的难度和对配合的硅片放置的托盘等机构尺寸精度的要求。