[发明专利]一种硅片生产用的抓取装置

权利要求书

1.一种硅片生产用的抓取装置，其特征在于，包括：

连接板(10)；

若干个支架(2)，彼此间隔的设置在所述连接板(10)上；

若干个夹持机构(3),一个所述夹持机构(3)设置在一个所述支架(2)上，所述夹持机构(3)包括第一驱动装置(31)、两个支撑件(32)、若干个手指夹杆(33)和若干个辅助支撑装置(34)，所述手指夹杆(33)上设置有卡槽(331)，若干个所述手指夹杆(33)分别设置在两个所述支撑件(32)两侧，且每个所述支撑件(32)两侧的手指夹杆(33)上的卡槽(331)相互垂直，所述第一驱动装置(31)倾斜的设置在所述支架(2)上用于驱动两个所述支撑件(32)远离或靠近，所述辅助支撑装置(34)用于对所述支撑件(32)移动起到导向和支撑作用。

2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用的抓取装置，其特征在于：所述支撑件(32)上设置有第一避让槽(321)和第二避让槽(322)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用的抓取装置，其特征在于：所述辅助支撑装置(34)倾斜的设置在所述支架(2)上，所述辅助支撑装置(34)包括导轨(341)、两个移动块(342)和连接板(343)，所述导轨(341)设置在所述连接板(343)上，所述移动块(342)可滑动地设置在所述导轨(341)上。

4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用的抓取装置，其特征在于：还包括若干个固定装置(4)和若干个升降装置(5)，所述固定装置(4)用于将硅片固定在载板上，所述升降装置(5)用于驱动所述固定装置(4)固定在载板上或者远离载板。

5.根据权利要求4所述的一种硅片生产用的抓取装置，其特征在于：所述固定装置(4)包括用金属材质支撑的销钉(41)和锯齿压块(42)，所述锯齿压块(42)设置在所述金属销钉(41)上。

6.根据权利要求4所述的一种硅片生产用的抓取装置，其特征在于：所述升降装置(5)包括若干个第二驱动装置(51)、若干个连接件(52)、若干个套杆(53)和若干个电磁铁(54)，所述第二驱动装置(51)用于驱动所述连接件(52)上下运动，所述套杆(53)设置在所述连接件(52)上，所述电磁铁(54)设置在所述套杆(53)内。

7.根据权利要求5所述的一种硅片生产用的抓取装置，其特征在于：所述金属销钉(41)由上定位销(411)和下定位销(412)组成，所述上定位销(411)和下定位销(412)可拆卸连接。

8.根据权利要求6所述的一种硅片生产用的抓取装置，其特征在于：所述连接件(52)上设置有若干个固线夹(521)。