[发明专利]统计方法和处理装置在审
申请号: | 202210202235.3 | 申请日: | 2022-03-02 |
公开(公告)号: | CN115080918A | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 浅川贵志;田中谕志;青井良太 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | G06F17/18 | 分类号: | G06F17/18;H01L21/67 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;徐飞跃 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种统计方法和处理装置。统计方法包括:获取日志信息的步骤,所述日志信息包含由处理基片的处理装置所具有的传感器测量出的、所述处理装置使用了的资源消耗的测量值和测量日期时间;将获取到的所述日志信息中包含的所述资源消耗的测量值和所述测量日期时间保存在存储部中的步骤;和参照所述存储部,对指定的统计期间中的所述测量日期时间所对应的所述资源消耗的测量值进行累计,计算每个所述处理装置的所述资源消耗的累计值的步骤。根据本发明,能够使每个处理装置所使用的消耗能量可视化。 | ||
搜索关键词: | 统计 方法 处理 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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