[发明专利]统计方法和处理装置

权利要求书

1.一种统计方法，其特征在于，具有：

获取日志信息的步骤，所述日志信息包含由处理基片的处理装置所具有的传感器测量出的、所述处理装置使用了的资源消耗的测量值和测量日期时间；

将获取到的所述日志信息中包含的所述资源消耗的测量值和所述测量日期时间保存在存储部中的步骤；和

参照所述存储部，对指定的统计期间中的所述测量日期时间所对应的所述资源消耗的测量值进行累计，计算每个所述处理装置的所述资源消耗的累计值的步骤。

2.如权利要求1所述的统计方法，其特征在于：

具有将计算出的每个所述处理装置的所述资源消耗的累计值与所述指定的统计期间相关联地显示的步骤。

3.如权利要求2所述的统计方法，其特征在于：

显示所述资源消耗的累计值的步骤，将所述指定的统计期间的每个期间的所述资源消耗的累计值以图表或者表格的方式进行显示。

4.如权利要求1～3中任一项所述的统计方法，其特征在于：

具有接收用户操作，将根据所述用户操作而选择出的统计期间决定为所述指定的统计期间的步骤。

5.如权利要求1～4中任一项所述的统计方法，其特征在于：

所述资源消耗的测量值包含所述处理装置所使用的各种气体流量、热交换介质的流量和各种电功率量中的至少任一者或者组合的测量值。

6.如权利要求1～5中任一项所述的统计方法，其特征在于：

所述日志信息包含在所述处理装置中处理过的已处理基片的个数和处理日期时间，

保存在所述存储部中的步骤，将获取到的所述日志信息中包含的所述已处理基片的个数和所述处理日期时间保存在所述存储部中，

计算所述资源消耗的累计值的步骤，参照所述存储部，对所述指定的统计期间中的所述处理日期时间所对应的所述已处理基片的个数进行累计，基于所述资源消耗的累计值和所述已处理基片的个数的累计值来计算每个已处理基片的所述资源消耗的累计值。

7.如权利要求6所述的统计方法，其特征在于：

具有将计算出的每个所述已处理基片的所述资源消耗的累计值与所述指定的统计期间相关联地显示的步骤。

8.如权利要求6或7所述的统计方法，其特征在于：

所述存储部存储各资源消耗的单价，

所述统计方法具有：

参照所述存储部，根据所述各资源消耗的单价来计算与所述资源消耗的累计值对应的费用和/或与每个所述已处理基片的所述资源消耗的累计值对应的费用的步骤；和

将计算出的与所述资源消耗的累计值对应的费用和/或与每个所述已处理基片的所述资源消耗的累计值对应的费用，与所述指定的统计期间相关联地显示的步骤。

9.一种对基片进行处理的处理装置，其具有传感器和控制部，其特征在于：

所述控制部执行包含以下步骤的处理，即：

获取日志信息的步骤，所述日志信息包含由所述传感器测量出的所述处理装置使用了的资源消耗的测量值和测量日期时间；

将获取到的所述日志信息中包含的所述资源消耗的测量值和所述测量日期时间保存在存储部中的步骤；

参照所述存储部，对指定的统计期间中的所述测量日期时间所对应的所述资源消耗的测量值进行累计，计算每个所述处理装置的所述资源消耗的累计值的步骤；和

显示计算出的每个所述处理装置的所述资源消耗的累计值和所述指定的统计期间的步骤。