[发明专利]一种多面式侧壁LED芯片及其制备方法在审
| 申请号： | 202210199465.9 | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN114583025A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 张亚;张星星;张雪;简弘安;胡加辉;金从龙 | 申请（专利权）人： | 江西兆驰半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/10 | 分类号： | H01L33/10;H01L33/00;H01L33/14;H01L33/22 |
| 代理公司： | 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150 | 代理人： | 刘红伟 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种多面式侧壁LED芯片及其制备方法，包括：提供一衬底，在衬底上形成LED外延，在LED外延上沉积不同致密性的材料作为掩膜；通过ISO光刻形成具有ISO图形的光刻胶层，以光刻胶层为遮挡对掩膜进行刻蚀；去除光刻胶层，以掩膜为遮挡对LED外延进行ICP刻蚀，直至刻蚀至衬底，形成侧壁具有多个斜面的隔离沟槽。本发明中的一种多面式侧壁LED芯片及其制备方法，通过改变隔离槽侧壁的形貌，使侧壁出光面积增加，芯片内部光线到侧壁的入射角发生改变，使得更多的光线可以取出，提升了芯片亮度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多面 侧壁 led 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西兆驰半导体有限公司，未经江西兆驰半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210199465.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于生成数据特征的模型
- 下一篇：一种新能源汽车电池生产加工用电池塑包设备
