[发明专利]晶圆缺陷检测系统的可靠性确定方法在审
| 申请号： | 202210195209.2 | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN114609142A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 林超;郭虹;董岱;徐猛 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京英思普睿知识产权代理有限公司 16018 | 代理人： | 刘莹;聂国斌 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施方式提供了一种晶圆缺陷检测系统的可靠性确定方法，包括：确定量产的缺陷晶圆的标准检测数据；采用待分析的检测系统对缺陷晶圆进行缺陷检测以获取样本检测数据；以及根据样本检测数据和标准检测数据确定待分析的检测系统的可靠性。本申请提供的可靠性确定方法中标准缺陷数据是基于实际量产的缺陷晶圆获得的，而实际量产的晶圆所具有的缺陷更能体现真实的晶圆缺陷，使得标准检测数据的真实性更高，对待分析的检测系统的可靠性评估更加准确。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 系统 可靠性 确定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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