[发明专利]一种芯片工艺角检测电路、方法和芯片在审
| 申请号： | 202210184553.1 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN114414999A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 赵东艳;李德建;杨小坤;李可然;王于波;杨立新;沈冲飞;冯曦;邵瑾 | 申请（专利权）人： | 北京智芯微电子科技有限公司;国家电网有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H03K21/38 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 赵敏岑 |
| 地址： | 100192 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种芯片工艺角检测电路、方法和芯片，该电路包括：对称振荡环RO及至少两个非对称振荡环ARO1和ARO2；所述对称振荡环RO，用于根据振荡次数检测所述芯片的SS、TT、FF工艺角，所述振荡次数是通过所述对称振荡环RO对应的计数单元获取；所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2，用于根据振荡次数检测所述芯片的FS、SF工艺角，所述振荡次数是通过所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2分别对应的计数单元获取。该电路增大了工艺角检测范围和工艺角检测的温度范围，提高了检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 工艺 检测 电路 方法 | ||
【主权项】：
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