[发明专利]一种芯片工艺角检测电路、方法和芯片在审
申请号: | 202210184553.1 | 申请日: | 2022-02-28 |
公开(公告)号: | CN114414999A | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 赵东艳;李德建;杨小坤;李可然;王于波;杨立新;沈冲飞;冯曦;邵瑾 | 申请(专利权)人: | 北京智芯微电子科技有限公司;国家电网有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;H03K21/38 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 赵敏岑 |
地址: | 100192 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 工艺 检测 电路 方法 | ||
1.一种芯片工艺角检测电路,其特征在于,该电路包括:对称振荡环RO及至少两个非对称振荡环ARO1和ARO2;
所述对称振荡环RO,用于根据振荡次数检测所述芯片的SS、TT、FF工艺角,所述振荡次数是通过所述对称振荡环RO对应的计数单元获取;
所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2,用于根据振荡次数检测所述芯片的FS、SF工艺角,所述振荡次数是通过所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2分别对应的计数单元获取。
2.根据权利要求1所述的电路,其特征在于,所述对称振荡环RO、所述非对称振荡环ARO1及所述非对称振荡环ARO2各自都包括至少三个密勒单元。
3.根据权利要求2所述的电路,其特征在于,所述非对称振荡环ARO1的密勒单元包括:采用低阈值电压器件模型的上拉PMOS,和采用常规阈值电压器件模型的下拉NMOS;
所述非对称振荡环ARO2的密勒单元包括:采用常规阈值电压器件模型的上拉PMOS,和采用低阈值电压器件模型的下拉NMOS;
所述对称振荡环RO的密勒单元包括:采用低阈值电压器件模型的上拉PMOS和下拉NMOS。
4.根据权利要求2或3所述的电路,其特征在于,
所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2为对密勒单元中的器件模型参数进行了非对称配置。
5.根据权利要求2或3所述的电路,其特征在于,
基于至少三个密勒单元的振荡环包括初始预置模式和闭环起振模式,所述初始预置为通过外部信号预置振荡环的振荡频率。
6.根据权利要求1所述的电路,其特征在于,
所述对称振荡环RO、所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2分别还包括反相器和数据选择器,所述数据选择器用于接收数据输入。
7.根据权利要求1所述的电路,其特征在于,
所述计数单元具有锁存功能,用于对测量值进行存取。
8.根据权利要求1所述的电路,其特征在于,该电路还包括:
复位单元,所述复位单元用于分别使能所述对称振荡环RO、所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2,以及对所述对称振荡环RO、所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2分别对应的计数单元进行锁存清零。
9.根据权利要求1所述的电路,其特征在于,
所述非对称振荡环ARO1、所述非对称振荡环ARO2和所述对称振荡环RO中的至少一者的供电电压为1.1V。
10.根据权利要求1所述的电路,其特征在于,
该电路还包括频率设置信号,用于设置所述对称振荡环RO、所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2的起振频率。
11.根据权利要求1所述的电路,其特征在于,所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2,用于根据振荡次数检测所述芯片的FS、SF工艺角,包括:
测量所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2在时钟周期内的振荡次数;
当所述非对称振荡环ARO1振荡次数大于0,且所述非对称振荡环ARO2的振荡次数等于0,则该芯片处于FS工艺角;
当所述非对称振荡环ARO1振荡次数等于0,且所述非对称振荡环ARO2的振荡次数大于0,则该芯片处于SF工艺角;
当所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2的振荡次数均大于0,计算ARO1与ARO2振荡次数的比值,如果该比值在阈值参数区间内,则该芯片处于对称工艺角,如果该比值不在阈值参数区间内,则该芯片处于非对称工艺角;
所述阈值参数区间根据所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2在SS工艺角、TT工艺角和FF工艺角下振荡次数的比值确定。
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