[发明专利]推舟机构密封装置及反应设备在审
| 申请号： | 202210179744.9 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN114613709A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 张勇;彭倩;罗伟斌 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 钟平 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种推舟机构密封装置及反应设备，推舟机构密封装置包括固定组件、密封组件、桨及限位组件，固定组件包括筒体与两个端盖，筒体的端部与端盖包覆于所述密封组件内，桨穿设于所述筒体、靠近炉门一侧的端盖以及炉门内，限位组件均包括多个限位体与抵持体，限位体位于筒体与桨的外壁之间，抵持体与限位体抵持，使限位体夹紧桨；反应设备包括推舟机构密封装置。本发明中，桨被限位组件固定于筒体内部，桨与炉门之间没有密封结构，对桨的加工要求低，降低了桨的制作成本，两个密封结构分别包覆筒体的端部，使固定组件、固定组件内部的桨、限位组件得到密封，并且炉门与密封结构连接，炉门盖住炉口后即可实现炉体的密封。 | ||
| 搜索关键词： | 机构 密封 装置 反应 设备 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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