[发明专利]成膜装置在审
| 申请号： | 202210175012.2 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN114959564A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 河合慈;高桥宣之;富井广树;樱井克荣 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;C23C14/52;C23C14/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供提高基板的吸附度的测定精度的成膜装置。成膜装置具备：腔室，将内部保持为真空；吸附板，设置在腔室的内部，用于吸附基板；检测部件，在铅垂方向上配置在吸附板的下方，检测基板向吸附板的吸附的程度；以及移动部件，使检测部件在沿着基板的被成膜面的第一方向上移动。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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