[发明专利]基板表面研磨装置在审
| 申请号： | 202210174362.7 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN114952592A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 具钟会;姜圣日;金利均;金洪灿;裵仁燮;许贞镐 | 申请（专利权）人： | 海成帝爱斯株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/11;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 王征;黄健 |
| 地址： | 韩国庆尚南道*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板表面研磨装置，其包括：研磨装置，其包括对基板的表面进行研磨的多个研磨辊；以及基板支撑部件，其支撑所述基板，其中，所述研磨辊的旋转轴设置为与相邻的研磨辊的旋转轴相倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 研磨 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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