[发明专利]一种热蒸发镀膜陶瓷靶材及制备方法在审
| 申请号： | 202210165519.X | 申请日： | 2022-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN114560712A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 许积文;余晨旭;杨玲;王华 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | C04B35/80 | 分类号： | C04B35/80;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/64;C23C14/08;C23C14/30;D01F9/08 |
| 代理公司： | 桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙) 45134 | 代理人： | 白洪 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热蒸发镀膜陶瓷靶材及制备方法，所述陶瓷靶材包括与原料粉体共同构成异质结构的结构材料，所述结构材料为与原料粉体相同化学组份的陶瓷纤维和/或陶瓷片，所述陶瓷纤维的长度为5‑100μm，直径为0.2‑6μm；所述陶瓷片的厚度为2‑10μm、宽度为20‑60μm；结构材料在陶瓷靶材中的占比为10‑35wt%。本发明通过在靶材原料中添加同种材质的陶瓷纤维、陶瓷片或者两者组合，使陶瓷靶材坯体在烧结后形成一种异质结构，在不影响镀膜质量的前提下，解决陶瓷靶材热蒸发时热冲击应力过大易造成开裂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 镀膜 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】：
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