[发明专利]一种热蒸发镀膜陶瓷靶材及制备方法

权利要求书

1.一种热蒸发镀膜陶瓷靶材，包括原料粉体，其特征在于，所述陶瓷靶材还包括了与原料粉体共同构成异质结构的结构材料，所述结构材料为与原料粉体相同化学组份的陶瓷纤维和/或陶瓷片，所述陶瓷纤维的长度为5-100μm，直径为0.2-6μm；所述陶瓷片的厚度为2-10μm、宽度为20-60μm；结构材料在陶瓷靶材中的占比为10-35wt%。

2.根据权利要求1所述的陶瓷靶材，其特征在于，所述原料粉体是由60-100nm尺寸的纳米原料粉体和1-5μm尺寸的微米原料粉体组成的混合粉体，纳米原料粉体占混合粉体的15-30wt%。

3.根据权利要求1或2所述的陶瓷靶材，其制备方法包括以下步骤：

（1）按配比称取原料粉体、结构材料和粘接剂；

（2）将原料粉体和粘接剂进行混合；

（3）加入结构材料再次进行混合；

（4）采用干压成型制备块体素坯，块体素坯的相对密度为40-50%；

（5）块体素坯先低温脱脂再高温烧结制得陶瓷靶材；低温脱脂温度为600℃，烧结温度为1000-1500℃，烧结气氛为空气或氧气气氛，高温保温时长为2-8h。