[发明专利]封装器件水汽入侵路径检测方法及装置有效
| 申请号： | 202210164278.7 | 申请日： | 2022-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN114216954B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 廖金枝;朱雷;张兮;乔明胜;华佑南;李晓旻 | 申请（专利权）人： | 胜科纳米（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01N15/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘臣刚 |
| 地址： | 215124 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种封装器件水汽入侵路径检测方法及装置，该方法包括：基于预设示踪剂对待测封装器件进行水汽示踪标记，获取示踪标记样品；对所述示踪标记样品进行二次离子质谱分析，获取示踪标记样品的示踪剂强度；根据所述示踪剂强度确定水汽入侵的路径和速度。本发明通过预设示踪剂与二次离子质谱结合，对封装器件的水汽入侵路径及速度进行检测，有利于提高水汽入侵的动态检测精度，从根本上提升封装器件的防潮可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 封装 器件 水汽 入侵 路径 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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