[发明专利]封装器件水汽入侵路径检测方法及装置

权利要求书

1.一种封装器件水汽入侵路径检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

基于预设示踪剂对待测封装器件进行水汽示踪标记，获取示踪标记样品；

对所述示踪标记样品进行二次离子质谱分析，获取所述示踪标记样品的示踪剂强度；

根据所述示踪剂强度确定水汽入侵的路径和速度；

水汽入侵路径可根据样品不同位置的示踪剂强度确定，水汽入侵速度可根据示踪剂到达样品不同位置所需的时间确定；

根据样品不同位置的示踪剂强度确定水汽入侵路径，包括：获取示踪标记样品的任一目标点位的示踪剂检测信号，根据示踪剂检测信号的数值大小确定该目标点位的示踪剂强度，若任一标记时长、任一目标点位的示踪剂强度超过预设浓度阈值，则判定经过当前标记时长后，示踪剂渗透到该点位，将该目标点位确定为样品经过当前标记时长对应的水汽入侵位置。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于预设示踪剂对待测封装器件进行水汽示踪标记，获取示踪标记样品，包括：

建立预设示踪标记环境；

基于所述预设示踪标记环境对所述待测封装器件的水汽入侵路径进行标记；

根据路径标记结果确定所述示踪标记样品。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设示踪标记环境包括：标记环境温度、标记环境相对湿度和标记时长。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述示踪剂强度确定水汽入侵的路径和速度，包括：

获取水汽示踪标记过程持续的标记时长；

根据所述示踪剂强度与所述标记时长确定水汽入侵的路径和速度。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述示踪剂强度与所述标记时长确定水汽入侵的路径和速度，包括：

根据所述示踪剂强度确定示踪剂入侵距离和入侵路径；

根据所述示踪剂入侵距离与所述标记时长建立目标渗透曲线；

根据所述目标渗透曲线确定水汽入侵速度。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述示踪标记样品进行二次离子质谱分析，获取所述示踪标记样品的示踪剂强度，包括：

采用二次离子质谱获取所述示踪标记样品的至少一个示踪剂检测信号；

根据所述示踪剂检测信号确定所述示踪标记样品中的水汽入侵位置和示踪剂强度；

其中，所述示踪剂检测信号与所述水汽入侵位置一一对应。

7.根据权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，在对所述示踪标记样品进行二次离子质谱分析之前，还包括以下步骤：

对所述示踪标记样品进行表面导电性薄膜镀膜处理。

8.根据权利要求1-6任一所述的方法，其特征在于，所述预设示踪剂包括氘或者氧化氘。

9.一种封装器件水汽入侵路径检测装置，其特征在于，包括：

标记模块，用于基于预设示踪剂对待测封装器件进行水汽示踪标记，获取示踪标记样品；

质谱分析模块，用于对所述示踪标记样品进行二次离子质谱分析，获取所述示踪标记样品的示踪剂强度；

数据处理模块，用于根据所述示踪剂强度确定水汽入侵的路径和速度；

水汽入侵路径可根据样品不同位置的示踪剂强度确定，水汽入侵速度可根据示踪剂到达样品不同位置所需的时间确定；

根据样品不同位置的示踪剂强度确定水汽入侵路径，包括：获取示踪标记样品的任一目标点位的示踪剂检测信号，根据示踪剂检测信号的数值大小确定该目标点位的示踪剂强度，若任一标记时长、任一目标点位的示踪剂强度超过预设浓度阈值，则判定经过当前标记时长后，示踪剂渗透到该点位，将该目标点位确定为样品经过当前标记时长对应的水汽入侵位置。

10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，所述标记模块中的预设示踪剂为气态或者液态。