[发明专利]卷对卷真空镀膜生产线在审
| 申请号： | 202210152568.X | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN114561627A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 曹蔚琦;金湛;王亚栋;秦琴;夏文豪 | 申请（专利权）人： | 重庆诺奖二维材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄宗波 |
| 地址： | 400700 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明属于镀膜设备技术领域，具体涉及卷对卷真空镀膜生产线，包括主体和分别位于主体两端的放卷机构和收卷机构，主体包括若干并排设置的腔室，腔室分为镀膜室和位于镀膜室两侧依次排列的多个过渡室，每个过渡室远离镀膜室一侧均设有端板，分隔板和端板上均安装有双辊机构，分隔板上的双辊机构用于对待镀基材进行支撑，端板上的双辊机构用于对待镀基材进行支撑、并对第一缝隙进行密封，多个过渡室上均安装有真空泵，若干过渡室的真空度由两边向中间逐级增高。其目的是：通过真空泵对过渡室进行真空抽取，进而间接完成对镀膜室的真空抽取，避免真空泵直接对镀膜室进行真空抽取而造成的，镀膜室内气压不稳定的问题，提高镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 生产线 | ||
【主权项】：
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