[发明专利]卷对卷真空镀膜生产线在审

专利信息
申请号: 202210152568.X 申请日: 2022-02-18
公开(公告)号: CN114561627A 公开(公告)日: 2022-05-31
发明(设计)人: 曹蔚琦;金湛;王亚栋;秦琴;夏文豪 申请(专利权)人: 重庆诺奖二维材料研究院有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/32
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 黄宗波
地址: 400700 重*** 国省代码: 重庆;50
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摘要:
搜索关键词: 真空镀膜 生产线
【权利要求书】:

1.卷对卷真空镀膜生产线,其特征在于:包括主体和分别位于主体两端的放卷机构(41)和收卷机构(42),所述主体包括若干并排设置的腔室,所述腔室分为镀膜室(1)和位于镀膜室(1)两侧依次排列的多个过渡室(2),所述镀膜室(1)两侧设有分隔板(3),每个所述过渡室(2)远离镀膜室(1)一侧均设有端板(30),所述分隔板(3)和端板(30)上均开设有用于穿过待镀基材(10)的第一缝隙(31),所述分隔板(3)和端板(30)上均安装有双辊机构,所述分隔板(3)上的双辊机构用于对待镀基材(10)进行支撑,所述端板(30)上的双辊机构用于对待镀基材(10)进行支撑、并对第一缝隙(31)进行密封,多个所述过渡室(2)上均安装有真空泵,若干所述过渡室(2)的真空度由两边向中间逐级增高。

2.根据权利要求1所述的卷对卷真空镀膜生产线,其特征在于:所述双辊机构包括C形安装板(5)、上胶辊(51)和下胶辊(52),所述C形安装板(5)上开设有第二缝隙,所述第一缝隙(31)和第二缝隙重合,所述下胶辊(52)转动安装在C形安装板(5)上,所述C形安装板(5)上滑动安装有安装块,所述上胶辊(51)转动安装在安装块上,所述待镀基材(10)穿过第二缝隙位于上胶辊(51)和下胶辊(52)之间。

3.根据权利要求2所述的卷对卷真空镀膜生产线,其特征在于:所述双辊机构还包括传输电机(50),所述传输电机(50)的动力输出轴与下胶辊(52)传动连接,所述上胶辊(51)和下胶辊(52)上均安装有传动齿轮(53),两个所述传动齿轮(53)相互啮合。

4.根据权利要求3所述的卷对卷真空镀膜生产线,其特征在于:所述收卷机构(42)对待镀基材(10)的移动速度大于传输电机(50)通过上胶辊(51)和下胶辊(52)对待镀基材(10)的移动速度。

5.根据权利要求3所述的卷对卷真空镀膜生产线,其特征在于:所述端板(30)上的双辊机构中的上胶辊(51)和下胶辊(52)两端的侧壁紧贴C形安装板(5)两侧的内壁,所述端板(30)上的双辊机构中的上胶辊(51)和下胶辊(52)的圆柱面紧贴C形安装板(5)的内壁,所述端板(30)上的双辊机构中的上胶辊(51)和下胶辊(52)的圆柱面紧贴待镀基材(10)。

6.根据权利要求3所述的卷对卷真空镀膜生产线,其特征在于:所述C形安装板(5)上开设有安装槽,所述安装块滑动安装在安装槽内,所述C形安装板(5)上开设有螺纹孔,所述螺纹孔内螺接有锁紧螺栓(54)。

7.根据权利要求1所述的卷对卷真空镀膜生产线,其特征在于:所述镀膜室(1)内有转动板(11),所述转动板(11)上设有多个坩埚(12)。

8.根据权利要求7所述的卷对卷真空镀膜生产线,其特征在于:所述转动板(11)转动安装在镀膜室(1)内。

9.根据权利要求7所述的卷对卷真空镀膜生产线,其特征在于:所述镀膜室(1)内还转动安装有挡板(13)。

10.根据权利要求1所述的卷对卷真空镀膜生产线,其特征在于:所述放卷机构(41)和收卷机构(42)的结构相同、且对称设置,所述收卷机构(42)包括安装架(420)、收放电机(4210)、旋转编码器(430)和处理器,所述安装架(420)上转动安装有卷辊(421)、第一支撑辊(422)、第二支撑辊(424)、张紧辊(423)和旋转轴(43),所述收放电机(4210)固定安装在安装架(420)上,所述收放电机(4210)和旋转编码器(430)均与处理器信号连接,所述收放电机(4210)的动力输出轴与卷辊(421)传动连接,所述张紧辊(423)位于第一支撑辊(422)、第二支撑辊(424)之间的下方,所述待镀基材(10)安装在卷辊(421)上、且绕设在第一支撑辊(422)、第二支撑辊(424)和张紧辊(423)上,所述旋转编码器(430)安装在旋转轴(43)上,所述旋转轴(43)上安装有连接杆(431),所述连接杆(431)上转动安装有配重轴(432),所述配重轴(432)上安装有配重块(433),所述张紧辊(423)也转动安装在连接杆(431)上。

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