[发明专利]卷对卷真空镀膜生产线在审
申请号: | 202210152568.X | 申请日: | 2022-02-18 |
公开(公告)号: | CN114561627A | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 曹蔚琦;金湛;王亚栋;秦琴;夏文豪 | 申请(专利权)人: | 重庆诺奖二维材料研究院有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/32 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 黄宗波 |
地址: | 400700 重*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 生产线 | ||
本发明属于镀膜设备技术领域,具体涉及卷对卷真空镀膜生产线,包括主体和分别位于主体两端的放卷机构和收卷机构,主体包括若干并排设置的腔室,腔室分为镀膜室和位于镀膜室两侧依次排列的多个过渡室,每个过渡室远离镀膜室一侧均设有端板,分隔板和端板上均安装有双辊机构,分隔板上的双辊机构用于对待镀基材进行支撑,端板上的双辊机构用于对待镀基材进行支撑、并对第一缝隙进行密封,多个过渡室上均安装有真空泵,若干过渡室的真空度由两边向中间逐级增高。其目的是:通过真空泵对过渡室进行真空抽取,进而间接完成对镀膜室的真空抽取,避免真空泵直接对镀膜室进行真空抽取而造成的,镀膜室内气压不稳定的问题,提高镀膜质量。
技术领域
本发明属于镀膜设备技术领域,具体涉及卷对卷真空镀膜生产线。
背景技术
众所周知,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代,在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电,使电解液电解,被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上,因此这种镀膜的条件,基体必须是电的良导体,而且薄膜厚度也难以控制。后者是采用化学还原法,必须把膜材配制成溶液,并能迅速参加还原反应,这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差,而且镀膜既不均匀也不易控制,同时还会产生大量的废液,造成严重的污染。因此,这两种被人们称之为湿式镀膜法的镀膜工艺受到了很大的限制。
中国发明专利(公开号:CN109957783)公开了一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,其真空镀膜环节的真空镀膜室通过隔板分成三个等大的小型真空镀膜室,并且这三个小型的真空度镀膜室分别对应设置抽真空系统和蒸汽发热源,将工件表面镀膜的区段分为三段或更多段,有利于镀膜处理时的效率和质量的保证,大大节约了工件表面镀膜的时间,降低了镀膜的成本。
但是在实际使用过程中,上述专利通过真空镀膜室的顶部位置固定安装的三组抽真空系统来实现真空,真空镀膜室内通过矩形槽孔与外界直接连通,外界空气经过矩形槽孔进入真空镀膜室内,影响镀膜室中的气压稳定性,进而影响镀膜质量。
发明内容
本发明的目的是:旨在提供卷对卷真空镀膜生产线,通过真空泵对过渡室进行真空抽取,进而间接完成对镀膜室的真空抽取,避免真空泵直接对镀膜室进行真空抽取而造成的,镀膜室内气压不稳定的问题,提高镀膜质量。
为实现上述技术目的,本发明采用的技术方案如下:
卷对卷真空镀膜生产线,包括主体和分别位于主体两端的放卷机构和收卷机构,所述主体包括若干并排设置的腔室,所述腔室分为镀膜室和位于镀膜室两侧依次排列的多个过渡室,所述镀膜室两侧设有分隔板,每个所述过渡室远离镀膜室一侧均设有端板,所述分隔板和端板上均开设有用于穿过待镀基材的第一缝隙,所述分隔板和端板上均安装有双辊机构,所述分隔板上的双辊机构用于对待镀基材进行支撑,所述端板上的双辊机构用于对待镀基材进行支撑、并对第一缝隙进行密封,多个所述过渡室上均安装有真空泵,若干所述过渡室的真空度由两边向中间逐级增高。
进一步限定,所述双辊机构包括C形安装板、上胶辊和下胶辊,所述C形安装板上开设有第二缝隙,所述第一缝隙和第二缝隙重合,所述下胶辊转动安装在C形安装板上,所述C形安装板上滑动安装有安装块,所述上胶辊转动安装在安装块上,所述待镀基材穿过第二缝隙位于上胶辊和下胶辊之间。这样的结构设计,上胶辊和下胶辊通过C形安装板安装在主体上,并由下胶辊对待镀基材进行支撑,结构简单,实用性强。
进一步限定,所述双辊机构还包括传输电机,所述传输电机的动力输出轴与下胶辊传动连接,所述上胶辊和下胶辊上均安装有传动齿轮,两个所述传动齿轮相互啮合。这样的结构设计,通过传输电机带动下胶辊转动,再利用两个传动齿轮的啮合,带动上胶辊和下胶辊同步转动,在对待镀基材进行支撑的同时,带动待镀基材在主体内运动,减小收卷机构的转动压力,实用性较强。
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