[发明专利]一种具有水汽分离装置的半导体废气处理设备及处理方法有效
| 申请号： | 202210148791.7 | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN114345036B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 崔汉博;崔汉宽 | 申请（专利权）人： | 崔汉博 |
| 主分类号： | B01D46/24 | 分类号： | B01D46/24;B01D53/30;F23G7/06 |
| 代理公司： | 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 | 代理人： | 陆中丹 |
| 地址： | 201315 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有水汽分离装置的半导体废气处理设备，包括放置在放置架上的氧化反应罐、废液聚集箱和雾化罐，所述氧化反应罐上设有废气进气口和氧气进气口，所述氧化反应罐与废液聚集箱、废液聚集箱与雾化罐均通过废气出气管连接，且连接处均设有密封圈，避免废气泄露；所述雾化罐上设有出气口，且所述雾化罐通过进水管与水箱连接；所述废液聚集箱设有出水口，所述出水口上安装有手动阀，手动阀正下方置有接水桶。还包括水汽分离装置和液面检测装置，能够分离废气中携带的无法进行氧化反应的废水。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 水汽 分离 装置 半导体 废气 处理 设备 方法 | ||
【主权项】：
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