[发明专利]一种电子芯片生产加工用电参数测试机在审
| 申请号： | 202210138267.1 | 申请日： | 2022-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN114545200A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 顾海娟 | 申请（专利权）人： | 上海旭睿电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/02 |
| 代理公司： | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人： | 朱明福 |
| 地址： | 200000 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子芯片生产加工用电参数测试机，包括机台，所述机台上设有检测架，所述检测架上安装有检测探针，所述检测架的侧壁上安装有抓取组件，所述抓取组件包括转筒、多个固定杆、多个转动杆及多个吸盘，所述检测架的侧壁开设有驱动槽，所述驱动槽内安装有驱动转筒转动的驱动装置；所述转筒转动连接在检测架的侧壁上，多个所述固定杆等间距固定连接在转筒的侧壁上，所述固定杆的侧壁开设有转槽。本发明在吸盘抓取晶圆进行检测时，可使固定杆及转动杆保持固定相连的直线状态，而在吸盘放置晶圆时，则解除固定杆及转动杆的固定连接，转动杆将在重力作用下自然下垂，如此可使晶圆平落在放置板上而不会发生滚落。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 芯片 生产 加工 用电 参数 测试 | ||
【主权项】：
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