[发明专利]一种电子芯片生产加工用电参数测试机在审
申请号: | 202210138267.1 | 申请日: | 2022-02-15 |
公开(公告)号: | CN114545200A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 顾海娟 | 申请(专利权)人: | 上海旭睿电子科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/02 |
代理公司: | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人: | 朱明福 |
地址: | 200000 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子 芯片 生产 加工 用电 参数 测试 | ||
1.一种电子芯片生产加工用电参数测试机,包括机台(1),所述机台(1)上设有检测架(2),所述检测架(2)上安装有检测探针(17),其特征在于,所述检测架(2)的侧壁上安装有抓取组件(3),所述抓取组件(3)包括转筒(4)、多个固定杆(5)、多个转动杆(6)及多个吸盘(7),所述检测架(2)的侧壁开设有驱动槽(25),所述驱动槽(25)内安装有驱动转筒(4)转动的驱动装置;
所述转筒(4)转动连接在检测架(2)的侧壁上,多个所述固定杆(5)等间距固定连接在转筒(4)的侧壁上,所述固定杆(5)的侧壁开设有转槽(9),所述转槽(9)内设有转轴(10),且所述转轴(10)与相邻的转动杆(6)固定连接,所述转动杆(6)的侧壁开设有滑槽(11),所述滑槽(11)内滑动连接有伸缩杆(12),所述吸盘(7)固定连接在相邻伸缩杆(12)上,所述转槽(9)内填充有磁流变液,所述固定杆(5)的侧壁上嵌设有励磁线圈(8),所述转筒(4)上安装有向励磁线圈(8)供电的供电装置。
2.根据权利要求1所述的一种电子芯片生产加工用电参数测试机,其特征在于,所述供电装置包括嵌设在转筒(4)内壁上的多个导电板(20),所述检测架(2)的侧壁上固定连接有芯柱(18),且所述芯柱(18)延伸至转筒(4)内,所述芯柱(18)的侧壁上固定连接有导电弧(19),且所述导电板(20)与相邻励磁线圈(8)电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种电子芯片生产加工用电参数测试机,其特征在于,所述驱动装置包括转动连接在驱动槽(25)内的半齿轮(26)与齿轮(32),所述齿轮(32)与转筒(4)同轴固定连接,所述检测架(2)的侧壁上安装有伺服电机,且伺服电机的输出轴与半齿轮(26)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种电子芯片生产加工用电参数测试机,其特征在于,所述伸缩杆(12)上固定连接有磁板(14),且所述磁板(14)通过弹簧(13)连接在滑槽(11)内壁上,所述滑槽(11)内壁上固定连接有压缩气囊(15),所述压缩气囊(15)通过导气管(16)与相邻的吸盘(7)内部连通。
5.根据权利要求3所述的一种电子芯片生产加工用电参数测试机,其特征在于,所述检测架的侧壁上固定连接有顶板(21),所述顶板(21)下端转动连接有连杆(24),所述连杆(24)的下端固定连接有多个放置板(22),所述驱动槽(25)内安装有驱动连杆(24)转动的驱动机构。
6.根据权利要求5所述的一种电子芯片生产加工用电参数测试机,其特征在于,所述驱动机构包括转动在驱动槽(25)内的第一锥齿轮(27),所述驱动槽(25)内转动连接有与第一锥齿轮(27)啮合的第二锥齿轮(28),所述第一锥齿轮(27)与齿轮(32)同轴固定连接,所述第二锥齿轮(28)上端固定连接有传动轴(29),所述检测架(2)与顶板(21)上均转动连接有同步带轮(23),所述传动轴(29)与连杆(24)分别与相邻的同步带轮(23)固定连接,且两个所述同步带轮(23)通过同步带传动连接。
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