[发明专利]一种电子芯片生产加工用电参数测试机

说明书

本发明公开了一种电子芯片生产加工用电参数测试机，包括机台，所述机台上设有检测架，所述检测架上安装有检测探针，所述检测架的侧壁上安装有抓取组件，所述抓取组件包括转筒、多个固定杆、多个转动杆及多个吸盘，所述检测架的侧壁开设有驱动槽，所述驱动槽内安装有驱动转筒转动的驱动装置；所述转筒转动连接在检测架的侧壁上，多个所述固定杆等间距固定连接在转筒的侧壁上，所述固定杆的侧壁开设有转槽。本发明在吸盘抓取晶圆进行检测时，可使固定杆及转动杆保持固定相连的直线状态，而在吸盘放置晶圆时，则解除固定杆及转动杆的固定连接，转动杆将在重力作用下自然下垂，如此可使晶圆平落在放置板上而不会发生滚落。

技术领域

本发明涉及机械技术领域，尤其涉及一种电子芯片生产加工用电参数测试机。

背景技术

在半导体加工行业中，需要将硅半导体电路所用的硅晶片(即晶圆)加工成所需的电子芯片，在加工完成后通过相关测试机对电子芯片进行电参数检测。

目前申请号为“01921947918.1”提出了“一种自动化晶圆测试机台”，该方案主要通过驱动转轮间歇转动，并通过吸盘抓取晶圆带向探针底部进行电性能测试。然而在该方案中，晶圆检测完成后，吸盘直接与晶圆分离并掉落在右侧的传送带上，而晶圆到达右侧时为竖直状态，这样在掉落时极易从传送带上滚落而受损，且吸盘的运动还容易与固定位置的传送带发生干涉，而阻碍该装置运行。鉴于此，本申请文件提出一种电子芯片生产加工用电参数测试机。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种电子芯片生产加工用电参数测试机。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种电子芯片生产加工用电参数测试机，包括机台，所述机台上设有检测架，所述检测架上安装有检测探针，所述检测架的侧壁上安装有抓取组件，所述抓取组件包括转筒、多个固定杆、多个转动杆及多个吸盘，所述检测架的侧壁开设有驱动槽，所述驱动槽内安装有驱动转筒转动的驱动装置；

所述转筒转动连接在检测架的侧壁上，多个所述固定杆等间距固定连接在转筒的侧壁上，所述固定杆的侧壁开设有转槽，所述转槽内设有转轴，且所述转轴与相邻的转动杆固定连接，所述转动杆的侧壁开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有伸缩杆，所述吸盘固定连接在相邻伸缩杆上，所述转槽内填充有磁流变液，所述固定杆的侧壁上嵌设有励磁线圈，所述转筒上安装有向励磁线圈供电的供电装置。

优选地，所述供电装置包括嵌设在转筒内壁上的多个导电板，所述检测架的侧壁上固定连接有芯柱，且所述芯柱延伸至转筒内，所述芯柱的侧壁上固定连接有导电弧，且所述导电板与相邻励磁线圈电性连接。

优选地，所述驱动装置包括转动连接在驱动槽内的半齿轮与齿轮，所述齿轮与转筒同轴固定连接，所述检测架的侧壁上安装有伺服电机，且伺服电机的输出轴与半齿轮固定连接。

优选地，所述伸缩杆上固定连接有磁板，且所述磁板通过弹簧连接在滑槽内壁上，所述滑槽内壁上固定连接有压缩气囊，所述压缩气囊通过导气管与相邻的吸盘内部连通。

优选地，所述检测架的侧壁上固定连接有顶板，所述顶板下端转动连接有连杆，所述连杆的下端固定连接有多个放置板，所述驱动槽内安装有驱动连杆转动的驱动机构。

优选地，所述驱动机构包括转动在驱动槽内的第一锥齿轮，所述驱动槽内转动连接有与第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮，所述第一锥齿轮与齿轮同轴固定连接，所述第二锥齿轮上端固定连接有传动轴，所述检测架与顶板上均转动连接有同步带轮，所述传动轴与连杆分别与相邻的同步带轮固定连接，且两个所述同步带轮通过同步带传动连接。

本发明具有以下有益效果：

1、通过设置转动相连的固定杆及转动杆，在吸盘抓取晶圆进行检测时，可使固定杆及转动杆保持固定相连的直线状态，而在吸盘放置晶圆时，则解除固定杆及转动杆的固定连接，转动杆将在重力作用下自然下垂，如此可使晶圆平落在放置板上而不会发生滚落；