[发明专利]光学单元、芯片及其制造方法在审
| 申请号： | 202210114550.0 | 申请日： | 2022-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN114460685A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 郑建辉 | 申请（专利权）人： | 上海图灵智算量子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请实施例涉及一种光学单元、芯片及其制造方法。根据本申请的一实施例，一种光学单元包括：第一层，其包括衬底，所述衬底为高阻材料；第二层，其位于所述衬底的下方且与所述第一层经配置以进行光信号传输；以及中间层，其位于所述衬底和所述第二层之间，其中所述中间层包括位于所述衬底下方的铝氧化物层。本申请的另一实施例还提供一种芯片，其包括上述光学单元。本申请的再一实施例还提供一种制造上述光学单元及芯片的方法。本申请实施例提供的光学单元、芯片及器件可有效解决传统技术中遇到的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 单元 芯片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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