[发明专利]一种垂直式弯形MEMS探针插针装置及其插针方法有效
| 申请号： | 202210106631.6 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114389122B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 于海超;徐兴光;周培清 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01R43/20 | 分类号： | H01R43/20;G01R1/073 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 徐丹;潘文斌 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直式弯形MEMS探针插针装置及其插针方法；用于将垂直式弯形MEMS探针插入探针卡中；装置包括上固定结构、下固定结构、平移结构、锁止结构、定位导向结构、视觉检测结构；由所述平移结构带动所述上固定结构在X、Y、Z方向上平移，以使上固定结构及上盖板在初始位置到工作位置之间位移；由所述倾斜机构带动所述下固定结构在θ轴、X轴、Y轴角度上倾斜；在工作位置、所述平移结构带动所述上固定结构分离或靠近下固定结构时，所述上盖板、下盖板之间相互平行且上探针孔、下探针孔之间竖直方向上一一对位。本装置可以使上盖板与左右垫块分离、保证平面度，插针方法，解决了目前手工插针、换针时人手抖动产生针位偏移、洒落等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 式弯形 mems 探针 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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