[发明专利]一种垂直式弯形MEMS探针插针装置及其插针方法

权利要求书

1.一种垂直式弯形MEMS探针插针装置，用于将垂直式弯形MEMS探针插入探针卡中，所述探针具有针尖、针腹、针尾和针钩，所述探针的针腹为弯曲结构，所述针尖的中心轴延长线与针尾的中心轴延长线之间相平行，所述探针卡包括上盖板和下盖板，所述上盖板上设置有用于针尾穿过的上探针孔，所述下盖板上设置有用于针尖穿过的下探针孔，上探针孔、下探针孔的尺寸相同，其特征在于：

所述探针卡还包括左垫块、右垫块，所述左垫块、右垫块交错固定在上盖板、下盖板之间并组合成上下表面平行的中空结构，由所述左垫块、右垫块、上盖板、下盖板合围形成位于中间的供探针针腹容纳的腔室；所述左垫块、右垫块各自设置朝外的把手；

所述插针装置包括：

上固定结构，所述上固定结构具有用于定位安装上盖板的朝下设置的上固定板，所述上固定板上设置有在探针插针过程中至少使上探针孔敞开的上避让空间，所述上固定结构具有X、Y、Z方向上的平移自由度；

下固定结构，所述下固定结构具有用于定位安装下盖板的朝上设置的下固定板，所述下固定结构上设置有在探针插针过程中使下探针孔敞开的下避让空间；所述下固定板的左右两侧对应所述左垫块、右垫块设置有台阶，该台阶使左垫块、右垫块方便拆装；

平移结构，所述平移结构与所述上固定结构配合连接，用以带动所述上固定结构在X、Y、Z方向上平移；

锁止结构，所述锁止结构与所述平移结构配合连接，用以锁止所述平移结构以限制所述平移结构在X方向上的平移自由度；

定位导向结构，所述定位导向结构包括设于下固定结构上的导向柱和对应导向柱设于下固定板、上盖板、下盖板、左垫块、右垫块上的导向孔，用于上盖板、下盖板之间分离或靠近时提供竖直方向上的直线定位导向；

视觉检测结构，所述视觉检测结构位于所述下固定结构的下方空间，所述视觉检测结构位于所述下盖板的正下方；

所述插针装置被配置成：

所述上固定结构和下固定结构具有初始位置和工作位置；在初始位置时，所述上盖板远离下盖板，在工作位置时，所述上盖板靠近下盖板；由所述平移结构带动所述上固定结构在X、Y、Z方向上平移，以使上固定结构及上盖板在初始位置到工作位置之间位移；

且在工作位置、所述平移结构带动所述上固定结构分离或靠近下固定结构时，所述上盖板、下盖板之间相互平行且上探针孔、下探针孔之间竖直方向上一一对位。

2.根据权利要求1所述的一种垂直式弯形MEMS探针插针装置，其特征在于：所述Z方向为上下垂直的方向，所述X方向为水平且与Z方向垂直的方向，则Y方向为与X、Z所在平面相垂直的方向。

3.根据权利要求1所述的一种垂直式弯形MEMS探针插针装置，其特征在于：所述上固定板设置上气道，所述上固定板朝下的表面设置与上气道相互连通的上吸孔；所述上避让空间包括与上探针孔对应设置的第一上避让孔和与探针卡上的螺钉安装孔对应设置的第二上避让孔，所述上固定板为U形结构，所述第一上避让孔位于U形结构的U形开口中。

4.根据权利要求1所述的一种垂直式弯形MEMS探针插针装置，其特征在于：所述下固定结构设置下气道，所述下固定结构朝上的表面设置与下气道相互连通的下吸孔；所述下固定结构上开设有开口朝上用于放置探针卡的安装凸台，所述下固定结构在放置所述探针卡后对应所述下探针孔的位置设置下避让空间，所述下避让空间为孔状。

5.根据权利要求1所述的一种垂直式弯形MEMS探针插针装置，其特征在于：所述插针装置还包括一底座，所述平移结构、锁止结构均固定安装在所述底座上，所述底座上开设有上下贯通的孔。