[发明专利]晶圆背切装置在审
| 申请号： | 202210105489.3 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114393325A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 陶为银 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70;B23K37/047;B25J11/00;B25J15/06;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 张春;郭明月 |
| 地址： | 450001 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆背切装置，包括：设置在同一升降立柱上的两个水平多关节机械手臂，以及与水平多关节机械手臂相配合的晶圆供料平台、三轴晶圆预定位装置和固定在晶圆激光隐切平台上的晶圆隐切装置和陶瓷载台，所述水平多关节机械臂分别为第一水平多关节机械手臂和第二水平多关节机械手臂，第一水平多关节机械手臂的活动端固定有U型架，U型架的上端固定第一旋转电机，第一旋转电机的输出端固定第一吸盘机械手，第二水平多关节机械手臂的活动端直接固定第二旋转电机，第二旋转电机的输出端固定第二吸盘机械手，U型架的U型口为第二水平多关节机械手臂提供让位。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆背切 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南通用智能装备有限公司，未经河南通用智能装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210105489.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
