[发明专利]具有多重振动部的微机电装置在审
| 申请号： | 202210099529.8 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN116419136A | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 李仁杰;黄肇达;苏中源;高瑞鸿 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H04R19/02 | 分类号： | H04R19/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王锐 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有多重振动部的微机电装置，其包含基座及薄膜。薄膜包含固定部、外围部、中央部、第一弹性部及第二弹性部。固定部设置于基座上。外围部环绕中央部。第一弹性部包含第一电极且第二弹性部包含第二电极。第一弹性部连接固定部及外围部。第二弹性部连接外围部及中央部。当低频电性驱动信号输入至第一电极时，外围部及中央部分别沿与基座的法向量平行的轴向产生第一低频振幅及第二低频振幅。当高频电性驱动信号输入至第二电极时，外围部及中央部分别沿轴向产生第一高频振幅及第二高频振幅。第一低频振幅与第二低频振幅的差距小于第一高频振幅与第二高频振幅的差距。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 多重 振动 微机 装置 | ||
【主权项】：
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