[发明专利]具有多重振动部的微机电装置

说明书

本发明公开一种具有多重振动部的微机电装置，其包含基座及薄膜。薄膜包含固定部、外围部、中央部、第一弹性部及第二弹性部。固定部设置于基座上。外围部环绕中央部。第一弹性部包含第一电极且第二弹性部包含第二电极。第一弹性部连接固定部及外围部。第二弹性部连接外围部及中央部。当低频电性驱动信号输入至第一电极时，外围部及中央部分别沿与基座的法向量平行的轴向产生第一低频振幅及第二低频振幅。当高频电性驱动信号输入至第二电极时，外围部及中央部分别沿轴向产生第一高频振幅及第二高频振幅。第一低频振幅与第二低频振幅的差距小于第一高频振幅与第二高频振幅的差距。

技术领域

本发明涉及一种具有多重振动部的微机电装置。

背景技术

以往，传统微型扬声器通常会通过音圈马达使空气振动，进而发出声波，例如耳机等。

然而，单一音圈马达通常只有在特定区段的频率才能产生足够声压。因此，单一音圈马达不易同时满足高频音频及低频音频的需求。此外，音圈马达通常需要通过组装多种零组件来完成，故音圈马达的制造流程复杂。此外，音圈马达还不易缩减尺寸，进而不易应用于需要微型化的电子装置，例如蓝牙无线耳机。再者，音圈马达在运作时会历经多次能量的转换，而容易造成电能消耗过高的问题。

发明内容

本发明的目的在于提出一种具有多重振动部的微机电装置，其能够兼顾高频及低频的响应需求，反应迅速且减少能量耗损。

本发明的一实施例提出一种具有多重振动部的微机电装置，其包含一基座及一薄膜。薄膜包含一固定部、一外围部、一中央部、至少一第一弹性部及至少一第二弹性部。固定部设置于基座上。外围部环绕中央部。第一弹性部包含第一电极。第二弹性部包含第二电极。第一弹性部连接固定部及外围部。第二弹性部连接外围部及中央部。当一低频电性驱动信号输入至第一电极时，外围部沿一轴向产生一第一低频振幅且中央部沿轴向产生一第二低频振幅。轴向与基座的一法向量平行。当一高频电性驱动信号输入至第二电极时，外围部沿轴向产生一第一高频振幅且中央部沿轴向产生一第二高频振幅。第一低频振幅与第二低频振幅的差距小于第一高频振幅与第二高频振幅的差距。

根据本发明的一实施例的具有多重振动部的微机电装置，通过第一低频振幅与第二低频振幅的差距小于第一高频振幅与第二高频振幅的差距，使外围部及中央部共同进行低频的振动，且使中央部进行高频的振动，进而能够兼顾高频及低频的响应需求。此外，第一电极及第二电极能够分别将电能直接作用于第一弹性部及第二弹性部以使外围部及中央部产生振动。如此，在微机电装置在产生频率范围宽广的音频时，能减少电能的耗损。

以上的关于本发明内容的说明及以下的实施方式的说明是用以示范与解释本发明的精神与原理，并且提供本发明的权利要求更进一步的解释。

附图说明

图1为本发明的一实施例的具有多重振动部的微机电装置的简化的俯视示意图；

图2为图1的微机电装置的具体的俯视示意图；

图3为沿图2的III－III线剖面的侧视剖面示意图；

图4为沿图3的IV－IV线剖面的俯视示意图；

图5为沿图3的V－V线剖面的俯视示意图；

图6为图2的微机电装置的局部的俯视示意图；

图7为图3的微机电装置的制造流程的侧视剖面示意图；

图8为图3的微机电装置的制造流程的侧视剖面示意图；

图9为图3的微机电装置的制造流程的侧视剖面示意图；

图10为图3的微机电装置的制造流程的侧视剖面示意图；

图11为图3的微机电装置在运作时的侧视剖面示意图；

图12为图3的微机电装置在运作时的侧视剖面示意图；