[发明专利]电弧蒸发装置在审
| 申请号： | 202210091792.2 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114481046A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 朱国朝;刘琴铭;朱敏杰;袁安素 | 申请（专利权）人： | 纳狮新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种电弧蒸发装置，包括阴极弧蒸发源、第一磁场装置、第二磁场装置以及第三磁场装置。所述阴极弧蒸发源的表面包括经配置以限制阴极弧弧斑的移动并容纳靶材液滴的凹槽结构。所述第一磁场装置设置于所述阴极弧蒸发源的第一侧且经配置以产生第一磁场。所述第二磁场装置设置于所述第一侧并环绕所述第一磁场装置设置且经配置以产生第二磁场。所述第三磁场装置环绕所述阴极弧蒸发源、所述第一磁场装置和所述第二磁场装置设置，且经配置以产生第三磁场。所述第一磁场和所述第二磁场的磁场方向相反，所述第一磁场和所述第三磁场的磁场方向相同。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
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