[发明专利]电弧蒸发装置在审
| 申请号： | 202210091792.2 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114481046A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 朱国朝;刘琴铭;朱敏杰;袁安素 | 申请（专利权）人： | 纳狮新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电弧 蒸发 装置 | ||
1.一种电弧蒸发装置，其特征在于，包括：
阴极弧蒸发源，其中所述阴极弧蒸发源的表面包括凹槽结构，所述凹槽结构经配置以限制阴极弧弧斑的移动并容纳靶材液滴；
第一磁场装置，设置于所述阴极弧蒸发源的第一侧，经配置以产生第一磁场；
第二磁场装置，设置于所述阴极弧蒸发源的所述第一侧并环绕所述第一磁场装置设置，经配置以产生第二磁场；以及
第三磁场装置，环绕所述阴极弧蒸发源、所述第一磁场装置和所述第二磁场装置设置，经配置以产生第三磁场；
其中所述第一磁场和所述第二磁场的磁场方向相反，所述第一磁场和所述第三磁场的磁场方向相同。
2.如权利要求1所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述凹槽结构包括U型槽。
3.如权利要求2所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述U型槽在所述阴极弧蒸发源的表面呈现封闭圆环。
4.如权利要求3所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述第一磁场装置和所述第二磁场装置靠近所述阴极弧蒸发源的一端共平面。
5.如权利要求4所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述第一磁场装置包括柱状永磁铁。
6.如权利要求4所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述第二磁场装置包括环形永磁铁或排布成环状结构的多个柱状磁铁。
7.如权利要求3所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述第三磁场装置的一端与所述阴极弧蒸发源的所述表面共平面。
8.如权利要求7所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述第三磁场装置包括环形线圈。
9.如权利要求7所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述环形线圈经配置以加载直流电源提供的可变电流。
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