[发明专利]包括排气结构的基板处理装置

摘要

本发明涉及包括排气结构的基板处理装置，本发明具有如下的优点，即，包括：基板支撑装置，包括用于设置基板的旋转头部；流体供给单元，用于向上述基板供给流体；碗组装体，包括包围上述基板支撑装置并沿着半径方向外侧重叠配置的多个碗；升降单元，用于使上述碗组装体升降；以及腔室，用于收容上述基板支撑装置、流体供给单元、碗组装体及升降单元，在上述腔室分别设置用于从上述碗组装体的内部排气的多个工序排气部和用于从上述碗组装体的外部排气的环境排气部，可根据流入到上述碗组装体的处理液的种类单独排出液滴并聚集，因此，分离在处理液中产生的气体并进行后处理，由此大幅度节减费用。