[发明专利]高频电源装置

摘要

本发明提供一种高频电源装置，能够抑制过量的电流流过变压器并且使适当的电流流过该变压器。其是具备直流电源(1)、LC谐振电路(5)、开关电路(3)以及变压器(6)的自激振荡方式的高频电源装置。LC谐振电路包括电容器(52)和用于生成等离子体的感应线圈(51)。开关电路包括对从直流电源供给的直流电力进行开关来向LC谐振电路提供直流电力的半导体元件(31)。变压器具有LC谐振电路所包括的初级线圈(53)、以及与半导体元件连接以使该半导体元件导通/截止的次级线圈(33)。变压器形成为同轴地配置有初级线圈和所述次级线圈的同轴结构，LC谐振电路具有与初级线圈并联连接的电阻器(54)。