[发明专利]一种OLED材料蒸镀坩埚装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202210055761.1 | 申请日： | 2022-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN114182209A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 温质康;庄丹丹;乔小平;苏智昱 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED材料蒸镀坩埚装置及其使用方法，可调控的磁场结构设置于外坩埚的正下方，所述内坩埚和磁铁滑动机构设置于外坩埚内部，所述内坩埚在外坩埚的滑轨上进行上下运动，所述耐高温滚珠设置于内坩埚的外壁；所述磁铁滑动机构位于内坩埚的正下方，所述重力检测装置设置于磁铁滑动机构的正下方，外坩埚的内侧壁上方设有限位块，本发明通过在外坩埚内部设置可磁悬浮装置（即磁铁滑动机构），可对OLED材料进行可升降调节，当OLED材料消耗到一定量时，为了保证OLED材料恒定的蒸发速率，将OLED材料在外坩埚内部进行抬升，可充分利用剩余的OLED材料，减小材料的浪费，并且防止OLED材料在坩埚出料口裂解，提高了OLED器件的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 材料 坩埚 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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