[发明专利]一种OLED材料蒸镀坩埚装置及其使用方法

说明书

本发明公开了一种OLED材料蒸镀坩埚装置及其使用方法，可调控的磁场结构设置于外坩埚的正下方，所述内坩埚和磁铁滑动机构设置于外坩埚内部，所述内坩埚在外坩埚的滑轨上进行上下运动，所述耐高温滚珠设置于内坩埚的外壁；所述磁铁滑动机构位于内坩埚的正下方，所述重力检测装置设置于磁铁滑动机构的正下方，外坩埚的内侧壁上方设有限位块，本发明通过在外坩埚内部设置可磁悬浮装置（即磁铁滑动机构），可对OLED材料进行可升降调节，当OLED材料消耗到一定量时，为了保证OLED材料恒定的蒸发速率，将OLED材料在外坩埚内部进行抬升，可充分利用剩余的OLED材料，减小材料的浪费，并且防止OLED材料在坩埚出料口裂解，提高了OLED器件的品质。

技术领域

本发明属于平面显示技术领域，具体涉及一种OLED材料蒸镀坩埚装置及其使用方法。

背景技术

目前随着显示技术的发展，OLED显示器具备自发光特性，低功耗，宽视角，响应速度快，超轻期薄，抗震性好，可实现柔性显示与大面积全色显示等优势，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置显示面板行业中。

OLED显示器件通常由阳极、阴极、以及夹在阳极和阴极之间的有机电致发光材料层组成，其中有机电致发光材料层又包括空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、及电子注入层。OLED显示器件的发光机理是从阴、阳两级分别注入电子和空穴，被注入的电子和空穴经传输在发光层内复合，从而激发发光层分子产生单态激子，单态激子辐射衰减而发光。制备OLED显示器件主流的主要方式是真空加热镀膜，即在真空腔体内使用坩埚加热OLED材料，使其在一定温度下升华或者熔融汽化成蒸汽，透过金属掩膜板上的开孔沉积在基板上。使用点蒸发源进行OLED材料蒸镀的情况下，常常会因为点蒸发源各处的温差不均，导致坩埚内的OLED材料无法消耗完和材料易裂解等问题。

现当下制备OLED显示器件中的各膜层主要采用的是真空加热镀膜，真空加热镀膜的原理为：在真空腔体内采用电阻丝对坩埚内的OLED材料进行加热，使OLED材料在一定稳定的温度下进行升华或者熔融汽化成蒸汽，透过金属掩膜板上的开孔沉积在OLED基板上。常用的蒸发方式有点源和线源两种方式，采用点蒸发源进行OLED材料蒸镀的情况下，常常会因为点蒸发源各处的温差不均，导致坩埚内的OLED材料无法完全消耗，并且出现材料易裂解等问题。为此，我们提出一种OLED材料蒸镀坩埚装置及其使用方法，以解决上述背景技术中提到的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种OLED材料蒸镀坩埚装置及其使用方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种OLED材料蒸镀坩埚装置，包括外坩埚，承载OLED材料的内坩埚，磁铁滑动机构，可调控的磁场结构，重力检测装置以及耐高温滚珠；

所述可调控的磁场结构设置于外坩埚的正下方，所述内坩埚和磁铁滑动机构设置于外坩埚内部，所述内坩埚在外坩埚的滑轨上进行上下运动，所述耐高温滚珠设置于内坩埚的外壁；

所述磁铁滑动机构位于内坩埚的正下方，所述重力检测装置设置于磁铁滑动机构的正下方，外坩埚的内侧壁上方设有限位块。

所述耐高温滚珠的制作材料不限于铁基、镍基、钼基、铌基和钨基耐热钢铁合金，其耐热程度为1000℃-1580℃。所述限位块用于在内坩埚在向上运动时，防止内坩埚位移出外坩埚。所述外坩埚的上端设有坩埚出料口。

通过磁场结构中通入的电流方向和大小控制外部磁场的磁场大小和方向，内坩埚往下滑动落在磁铁滑动机构上，重力检测装置检测到内坩埚的重量变小之后，再调试磁场结构中的通电线圈的电流大小，向上的磁场力将内坩埚往上顶到相应的位置，保持OLED材料升华后的运动路程一致。

一种OLED材料蒸镀坩埚装置的使用方法，具体包括以下步骤：

S1、内坩埚中盛装的OLED材料的高度为H，OLED材料的升华液面到内坩埚的极限位置为F，OLED材料消耗后的高度为h，内坩埚向上运动的高度为f；