[发明专利]一种OLED材料蒸镀坩埚装置及其使用方法

权利要求书

1.一种OLED材料蒸镀坩埚装置，包括外坩埚（1），承载OLED材料（5）的内坩埚（3），磁铁滑动机构（4），可调控的磁场结构（6），重力检测装置（7）以及耐高温滚珠（8），其特征在于：所述可调控的磁场结构（6）设置于外坩埚（1）的正下方，所述内坩埚（3）和磁铁滑动机构（4）设置于外坩埚（1）内部，所述内坩埚（3）在外坩埚（1）的滑轨上进行上下运动，所述耐高温滚珠（8）设置于内坩埚（3）的外壁；

所述磁铁滑动机构（4）位于内坩埚（3）的正下方，所述重力检测装置（7）设置于磁铁滑动机构（4）的正下方，外坩埚（1）的内侧壁上方设有限位块（11）。

2.根据权利要求1所述的一种OLED材料蒸镀坩埚装置，其特征在于：所述耐高温滚珠（8）的制作材料不限于铁基、镍基、钼基、铌基和钨基耐热钢铁合金，其耐热程度为1000℃-1580℃。

3.根据权利要求1所述的一种OLED材料蒸镀坩埚装置，其特征在于：所述限位块（11）用于在内坩埚（3）在向上运动时，防止内坩埚（3）位移出外坩埚（1）。

4.根据权利要求1所述的一种OLED材料蒸镀坩埚装置，其特征在于：所述外坩埚（1）的上端设有坩埚出料口（10）。

5.根据权利要求1所述的一种OLED材料蒸镀坩埚装置，其特征在于：通过磁场结构（6）中通入的电流方向和大小控制外部磁场的磁场大小和方向，内坩埚（3）往下滑动落在磁铁滑动机构（4）上，重力检测装置（7）检测到内坩埚（3）的重量变小之后，再调试磁场结构（6）中的通电线圈的电流大小，向上的磁场力将内坩埚（3）往上顶到相应的位置，保持OLED材料（5）升华后的运动路程一致。

6.一种权利要求1-5任意一项所述的OLED材料蒸镀坩埚装置的使用方法，其特征在于：具体包括以下步骤：

S1、内坩埚（3）中盛装的OLED材料（5）的高度为H，OLED材料（5）的升华液面（9）到内坩埚（3）的极限位置为F，OLED材料（5）消耗后的高度为h，内坩埚（3）向上运动的高度为f；

S2、OLED材料（5）加入内坩埚（3），随着蒸镀时间的推移，内坩埚（3）内部的OLED材料（5）逐渐消耗，此时重力检测装置（7）检测到承载着OLED材料（5）的内坩埚（3）的重量变小；

S3、通过调控磁场结构（6）中的通电线圈的电流大小，调节增加向上的磁场力的大小，使承载着OLED材料（5）的内坩埚（3）向上运动距离为f，其中H=h+f，限位块（11）确保了内坩埚（3）在向上运动时，防止内坩埚（3）位移出外坩埚（1）。