[发明专利]一种UVB芯片的外延结构、UVB芯片在审

专利信息
申请号: 202210051322.3 申请日: 2022-01-18
公开(公告)号: CN114068778A 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 黄小辉;倪逸舟 申请(专利权)人: 至芯半导体(杭州)有限公司
主分类号: H01L33/12 分类号: H01L33/12;H01L33/06;H01L33/32;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 霍苗
地址: 310000 浙江省杭州市钱塘新*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及紫外发光二极管芯片技术领域,尤其涉及一种UVB芯片的外延结构、UVB芯片。本发明通过在高Al组分的Alx1Iny1Ga1‑x1‑y1N量子垒层和低铝组分的Alx2Iny2Ga1‑x2‑y2N量子阱层之间设置晶格应变层起到衔接过渡的作用,高效的解决了晶格常数差异大导致的应力大的问题;同时将所述晶格应变层中的Al含量介于x1和x2之间,使其不会形成Ga突然迁移过快导致的缺陷密度大的问题,进而提高了发光效率。
搜索关键词: 一种 uvb 芯片 外延 结构
【主权项】:
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