[发明专利]一种光电探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种光电探测器及其制备方法，该方法包括：提供硅基底；在所述硅基底上制备非导电介质；在所述非导电介质的上表面依次设置石墨烯薄膜和金属电极，所述石墨烯薄膜具有缺口显露出所述非导电介质，所述金属电极位于所述缺口的两侧；在所述缺口内蒸镀金属钛薄膜，通过控制热处理温度，制备具有氧浓度梯度的钛氧化物薄膜。本发明通过通过在缺口内蒸镀金属钛薄膜，并且控制空气流速、氧化浓度和热处理温度，制备具有氧浓度梯度的钛氧化物薄膜，从而拓宽了宽谱吸收范围。由于蒸镀的金属薄膜具有与非导电介质良好的附着力，并且分布连续均匀，因此能够有效提高光电探测器的质量。