[发明专利]一种合金靶材连续式制备系统及其方法在审
| 申请号： | 202210031202.7 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114406851A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 吴丽君 | 申请（专利权）人： | 漳州市合琦靶材科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/00 | 分类号： | B24B19/00;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/12;B24B47/20;C23C14/34 |
| 代理公司： | 泉州市潭思专利代理事务所(普通合伙) 35221 | 代理人： | 彭龙 |
| 地址： | 363800 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种合金靶材连续式制备系统，包括框架、支撑壳、转盘、驱动机构、支撑盘、凸块、吸盘、靶材、转换机构、第一气缸、第一气缸杆、磨板和支脚，所述框架上焊接有支撑壳，所述支撑壳内转动连接有转盘，所述转盘上设置有驱动机构，所述驱动机构上设置有支撑盘，所述支撑盘上固定安装有吸盘，所述吸盘上吸附有靶材，所述框架上设置有转换机构，所述框架上固定安装有第一气缸，所述第一气缸的第一气缸杆和框架滑动连接，所述第一气缸杆上焊接有磨板，所述磨板和靶材接触。本发明涉及一种合金靶材连续式制备系统及其方法，具有便于对靶材进行连续加工和靶材便于进行安装更换的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 连续 制备 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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