[发明专利]一种合金靶材连续式制备系统及其方法

权利要求书

1.一种合金靶材连续式制备系统，包括框架(1)、支撑壳(2)、转盘(3)、驱动机构(4)、支撑盘(5)、凸块(6)、吸盘(7)、靶材(8)、转换机构(9)、第一气缸(10)、第一气缸杆(11)、磨板(12)和支脚(13)，其特征在于：所述框架(1)上焊接有支撑壳(2)，所述支撑壳(2)内转动连接有转盘(3)，所述转盘(3)上设置有驱动机构(4)，所述驱动机构(4)上设置有支撑盘(5)，所述支撑盘(5)上固定安装有吸盘(7)，所述吸盘(7)上吸附有靶材(8)，所述框架(1)上设置有转换机构(9)，所述框架(1)上固定安装有第一气缸(10)，所述第一气缸(10)的第一气缸杆(11)和框架(1)滑动连接，所述第一气缸杆(11)上焊接有磨板(12)，所述磨板(12)和靶材(8)接触。

2.根据权利要求1所述的一种合金靶材连续式制备系统，其特征在于：所述转盘(3)上焊接有凸块(6)，所述凸块(6)和支撑盘(5)接触。

3.根据权利要求1所述的一种合金靶材连续式制备系统，其特征在于：所述框架(1)上焊接有四个支脚(13)，四个所述支脚(13)均匀分布在框架(1)上。

4.根据权利要求1所述的一种合金靶材连续式制备系统，其特征在于：所述驱动机构(4)包括电机(41)、转轴(42)、齿轮(43)、滑槽(44)、支撑轴(45)、压杆(46)、压套(47)、导孔(48)、弹簧(49)和齿环(410)，所述电机(41)和转盘(3)固定连接，所述电机(41)的转轴(42)与转盘(3)转动连接，所述转轴(42)上焊接有齿轮(43)，所述转盘(3)上开设有滑槽(44)，所述滑槽(44)内活动连接有支撑轴(45)，所述转盘(3)上开设有导孔(48)，所述导孔(48)内滑动连接有压杆(46)，所述压杆(46)上焊接有压套(47)，所述压套(47)和支撑轴(45)接触，所述压杆(46)的外侧设置有弹簧(49)，所述支撑轴(45)的外侧固定套接有齿环(410)，所述齿环(410)和齿轮(43)啮合。

5.根据权利要求4所述的一种合金靶材连续式制备系统，其特征在于：所述弹簧(49)的一端和转盘(3)接触，所述弹簧(49)的另一端和压套(47)接触。

6.根据权利要求1所述的一种合金靶材连续式制备系统，其特征在于：所述转换机构(9)包括环座(91)、弧面块(92)、第二气缸(93)、第二气缸杆(94)、推球(95)、筒体(96)、支撑杆(97)、压簧(98)、三角块(99)和三角槽(910)，所述环座(91)和转盘(3)焊接，所述环座(91)上焊接有弧面块(92)，所述框架(1)上固定安装有第二气缸(93)，所述第二气缸(93)的第二气缸杆(94)和框架(1)滑动连接，所述第二气缸杆(94)上焊接有推球(95)，所述框架(1)上焊接有筒体(96)，所述筒体(96)内滑动连接有支撑杆(97)，所述筒体(96)内设置有压簧(98)，所述支撑杆(97)上焊接有三角块(99)，所述转盘(3)上开设有三角槽(910)，所述三角槽(910)内滑动连接有三角块(99)。

7.根据权利要求6所述的一种合金靶材连续式制备系统，其特征在于：所述压簧(98)的一端和框架(1)焊接，所述压簧(98)的另一端和支撑杆(97)焊接。

8.根据权利要求6所述的一种合金靶材连续式制备系统，其特征在于：所述三角槽(910)有多个，多个所述三角槽(910)均匀分布在转盘(3)上。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种合金靶材连续式制备系统的使用方法，其特征在于：具体步骤包括：

步骤一：使用时，手动移动支撑盘(5)，支撑盘(5)移动带动支撑轴(45)移动，支撑轴(45)移动带动压套(47)移动，压套(47)移动带动压杆(46)移动，使得弹簧(49)被压缩，支撑轴(45)移动带动齿环(410)移动，齿环(410)移动和齿轮(43)脱离，然后将靶材(8)放置在吸盘(7)上，使得靶材(8)被固定；

步骤二：然后松开支撑盘(5)，弹簧(49)复位带动支撑轴(45)移动，进而使得齿环(410)复位和齿轮(43)接触；

步骤三：启动第二气缸(93)，第二气缸(93)启动第二气缸杆(94)伸长，第二气缸杆(94)带动推球(95)移动，推球(95)和弧面块(92)相对滑动，进而使得转盘(3)转动，转盘(3)转动和三角块(99)相对移动，进而使得三角块(99)和三角槽(910)脱离，进而使得三角块(99)向下移动，进而使得压簧(98)被压缩，在弧面块(92)带动转盘(3)转动时，三角块(99)在转盘(3)上滑动，使得三角块(99)进入下一个三角槽(910)内，然后压簧(98)作用，使得三角块(99)进入三角槽(910)内，对转盘(3)的位置进行调整，进而使得转盘(3)定位，使得支撑盘(5)位置发生转换；

步骤四：然后启动电机(41)，电机(41)启动转轴(42)转动，转轴(42)带动齿轮(43)转动，齿轮(43)带动齿环(410)转动，齿环(410)带动支撑轴(45)转动，支撑轴(45)带动支撑盘(5)转动，支撑盘(5)带动靶材(8)转动，同时，启动第一气缸(10)，第一气缸(10)启动第一气缸杆(11)伸长，第一气缸杆(11)伸长带动磨板(12)移动，使得磨板(12)和靶材(8)接触，对靶材(8)进行打磨。