[发明专利]一种合金靶材连续式制备系统及其方法

说明书

本发明公开了一种合金靶材连续式制备系统，包括框架、支撑壳、转盘、驱动机构、支撑盘、凸块、吸盘、靶材、转换机构、第一气缸、第一气缸杆、磨板和支脚，所述框架上焊接有支撑壳，所述支撑壳内转动连接有转盘，所述转盘上设置有驱动机构，所述驱动机构上设置有支撑盘，所述支撑盘上固定安装有吸盘，所述吸盘上吸附有靶材，所述框架上设置有转换机构，所述框架上固定安装有第一气缸，所述第一气缸的第一气缸杆和框架滑动连接，所述第一气缸杆上焊接有磨板，所述磨板和靶材接触。本发明涉及一种合金靶材连续式制备系统及其方法，具有便于对靶材进行连续加工和靶材便于进行安装更换的特点。

技术领域

本发明属于合金靶材加工技术领域，具体为一种合金靶材连续式制备系统及其方法。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。现有技术中，合金靶材制备系统在使用时，不便于对靶材进行连续加工，同时，靶材不便于进行安装更换。因此，需要对现有技术进行改进。

发明内容：

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种合金靶材连续式制备系统及其方法，解决了背景技术中提到的问题。

为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：

一种合金靶材连续式制备系统，包括框架、支撑壳、转盘、驱动机构、支撑盘、凸块、吸盘、靶材、转换机构、第一气缸、第一气缸杆、磨板和支脚，所述框架上焊接有支撑壳，所述支撑壳内转动连接有转盘，所述转盘上设置有驱动机构，所述驱动机构上设置有支撑盘，所述支撑盘上固定安装有吸盘，所述吸盘上吸附有靶材，所述框架上设置有转换机构，所述框架上固定安装有第一气缸，所述第一气缸的第一气缸杆和框架滑动连接，所述第一气缸杆上焊接有磨板，所述磨板和靶材接触。

作为优选，所述转盘上焊接有凸块，所述凸块和支撑盘接触。

作为优选，所述框架上焊接有四个支脚，四个所述支脚均匀分布在框架上。

作为优选，所述驱动机构包括电机、转轴、齿轮、滑槽、支撑轴、压杆、压套、导孔、弹簧和齿环，所述电机和转盘固定连接，所述电机的转轴与转盘转动连接，所述转轴上焊接有齿轮，所述转盘上开设有滑槽，所述滑槽内活动连接有支撑轴，所述转盘上开设有导孔，所述导孔内滑动连接有压杆，所述压杆上焊接有压套，所述压套和支撑轴接触，所述压杆的外侧设置有弹簧，所述支撑轴的外侧固定套接有齿环，所述齿环和齿轮啮合。

作为优选，所述弹簧的一端和转盘接触，所述弹簧的另一端和压套接触。

作为优选，所述转换机构包括环座、弧面块、第二气缸、第二气缸杆、推球、筒体、支撑杆、压簧、三角块和三角槽，所述环座和转盘焊接，所述环座上焊接有弧面块，所述框架上固定安装有第二气缸，所述第二气缸的第二气缸杆和框架滑动连接，所述第二气缸杆上焊接有推球，所述框架上焊接有筒体，所述筒体内滑动连接有支撑杆，所述筒体内设置有压簧，所述支撑杆上焊接有三角块，所述转盘上开设有三角槽，所述三角槽内滑动连接有三角块。

作为优选，所述压簧的一端和框架焊接，所述压簧的另一端和支撑杆焊接。

作为优选，所述三角槽有多个，多个所述三角槽均匀分布在转盘上。

一种合金靶材连续式制备系统的使用方法，具体步骤包括：

步骤一：使用时，手动移动支撑盘，支撑盘移动带动支撑轴移动，支撑轴移动带动压套移动，压套移动带动压杆移动，使得弹簧被压缩，支撑轴移动带动齿环移动，齿环移动和齿轮脱离，然后将靶材放置在吸盘上，使得靶材被固定；

步骤二：然后松开支撑盘，弹簧复位带动支撑轴移动，进而使得齿环复位和齿轮接触；