[发明专利]法拉第屏蔽罩与处理基板的设备在审
| 申请号： | 202210030855.3 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114823265A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 文武兼 | 申请（专利权）人： | PSK有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 阚梓瑄 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及关于一种处理基板的设备。在一实施例中，所述处理基板的设备包括电浆腔室；线圈电极，安装在所述电浆腔室周围；以及法拉第屏蔽罩，设置在所述线圈电极和所述电浆腔室之间。所述法拉第屏蔽罩包括镂空件，其具有在所述电浆腔室外围的垂直方向形成的多个槽，设置在所述镂空件顶部的上轮缘，和设置在所述镂空件底部的下轮缘。所述上轮缘和所述下轮缘具有热膨胀减少构形，其经配置以减少所述上轮缘和所述下轮缘与所述镂空件之间的热变形差异。 | ||
| 搜索关键词： | 法拉第 屏蔽 处理 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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