[发明专利]用于提高氨热法氮化镓晶体生长速度的反应釜结构在审
| 申请号： | 202210026101.0 | 申请日： | 2022-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN114438582A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 韩鹏飞;高冰;宋伯韬;于越;唐霞 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | C30B7/10 | 分类号： | C30B7/10;C30B28/04;C30B29/40 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 肖明洲 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于氨热法生长氮化镓晶体的反应釜结构，属于晶体生长中流场热场设计技术领域。本发明所涉及的结构，主要为多孔介质营养篮几何形状及籽晶上部增加的挡板。通过在多孔介质营养篮中心穿孔的方式，改善多孔介质内部流场，提高溶质传输效率；通过在籽晶上方增加一定开度的挡板，在籽晶表面区域形成漩涡回流，提高籽晶表面浓度与温度。本发明的结构形式，可以用于具有多孔介质结构的反应釜装置(主要包括水热法反应装置)。该装置可以显著提高反应釜内籽晶表面过饱和度，促进晶体生长。同时该结构具有形式简单，可操作性强的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 提高 氨热法 氮化 晶体生长 速度 反应 结构 | ||
【主权项】：
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