[发明专利]用于提高氨热法氮化镓晶体生长速度的反应釜结构在审
| 申请号： | 202210026101.0 | 申请日： | 2022-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN114438582A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 韩鹏飞;高冰;宋伯韬;于越;唐霞 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | C30B7/10 | 分类号： | C30B7/10;C30B28/04;C30B29/40 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 肖明洲 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 提高 氨热法 氮化 晶体生长 速度 反应 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于提高氨热法氮化镓晶体生长速度的反应釜结构，包括多孔介质营养篮，其特征在于：所述多孔介质营养篮由设有中心孔结构的多孔介质构成；所述中间孔结构为由多孔介质与挡板间自由流区域开始，至多孔介质与反应釜上壁间自由流区域为止，以增大自由流与多孔介质物质交换面积及对流作用，提高物质传输效率，有利于晶体生长；
所述多孔介质营养篮与反应釜侧壁设有侧间隙。
2.根据权利要求1所述的用于提高氨热法氮化镓晶体生长速度的反应釜结构，其特征在于：所述中心孔结构为由多孔介质营养篮下边界到顶部间隙的通孔。
3.根据权利要求1或2所述的用于提高氨热法氮化镓晶体生长速度的反应釜结构，其特征在于：所述多孔介质营养篮与反应釜侧壁间隔为1mm；所述多孔介质营养篮为直径略小于反应釜内腔直径；多孔介质营养篮中间有通孔的圆柱，其长度与低温加热器长度相当，略小于低温加热器长度；多孔介质营养篮上边界与反应釜内壁不接触，留有一个腔室。
4.根据权利要求3所述的用于提高氨热法氮化镓晶体生长速度的反应釜结构，其特征在于：所述籽晶上部挡板为厚度1mm，其外径与反应釜内壁相等，并带有中间开孔的银质圆环。
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