[发明专利]一种基于电化学刻蚀的钨针尖可控制备平台及制备方法有效

专利信息
申请号: 202210021644.3 申请日: 2022-01-10
公开(公告)号: CN114481285B 公开(公告)日: 2023-08-25
发明(设计)人: 洪文晶;左丹阳;吴相福;杨扬;师佳;黄宝贵;陈海燕;张礡 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: C25F3/08 分类号: C25F3/08;C25F7/00
代理公司: 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 代理人: 黄巧香
地址: 361005 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及探针制备技术领域,本发明具体涉及一种基于电化学刻蚀的钨针尖可控制备平台,包括电化学池、位移调节装置、测量装置、控制系统和三电极电路板,所述电化学池内盛设有电解液,所述三电极电路板包括工作电极、对电极和参比电极,所述工作电极与所述待制备钨丝连接,所述对电极和所述参比电极与所述电解液连接,所述待制备钨丝端部与所述电解液接触时,所述三电极电路板和所述不锈钢件、所述电解液、所述待制备钨丝之间形成刻蚀电路;所述测量装置用于对所述待制备钨丝的不同部位的直径进行测量;所述控制系统连接到所述三电极电路板控制所述三电极电路板工作。
搜索关键词: 一种 基于 电化学 刻蚀 针尖 可控 制备 平台 方法
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说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

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