[发明专利]金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法在审
| 申请号： | 202210013167.6 | 申请日： | 2022-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN114561624A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 黄新雷;李俊生;胡根水;孙虎 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/18;C22B7/00;C22B21/00;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 吕耀萍 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了一种金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法，属于光电子制造技术领域。该金属蒸发台衬板包括：板体和水溶材料层，所述水溶材料层位于所述板体用于承载工件的表面，所述水溶材料层溶于水。本公开能提高蒸镀金属电极后残留金属的回收效率，避免造成金属浪费，节省成本。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 蒸发 台衬板 及其 制备 方法 残留 回收 | ||
【主权项】：
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