[发明专利]检测工艺的管控方法及检测工艺的管控系统在审
| 申请号： | 202210010271.X | 申请日： | 2022-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN114356935A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 徐莹;郑悦文 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/22 | 分类号： | G06F16/22;G06F16/2455;G06Q10/10 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种检测工艺的管控方法及检测工艺的管控系统。所述检测工艺的管控方法包括：对所述检测工艺中的检测项目进行层级划分；按照预设的规则对所述层级命名后将上述层级命名结果存储在数据库中；接收操作台指令；判断指令类别，获得一判断结果；根据上述判断结果及数据库中的层级命名结果对所述操作台指令进行验证，获得一验证结果；根据验证结果执行操作台指令、报错指令或提示指令中的一个指令。上述技术方案通过对所述检测工艺中的检测项目进行层级划分，并按照预设的规则对所述层级命名后将上述层级命名结果存储在所述数据库中，将检测项目名称与计算方式组合起来，便于识别。提高数据的准确性，进而提高对制程工艺管控的效率及准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 工艺 方法 系统 | ||
【主权项】：
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