[发明专利]检测工艺的管控方法及检测工艺的管控系统

说明书

本申请提供了一种检测工艺的管控方法及检测工艺的管控系统。所述检测工艺的管控方法包括：对所述检测工艺中的检测项目进行层级划分；按照预设的规则对所述层级命名后将上述层级命名结果存储在数据库中；接收操作台指令；判断指令类别，获得一判断结果；根据上述判断结果及数据库中的层级命名结果对所述操作台指令进行验证，获得一验证结果；根据验证结果执行操作台指令、报错指令或提示指令中的一个指令。上述技术方案通过对所述检测工艺中的检测项目进行层级划分，并按照预设的规则对所述层级命名后将上述层级命名结果存储在所述数据库中，将检测项目名称与计算方式组合起来，便于识别。提高数据的准确性，进而提高对制程工艺管控的效率及准确性。

技术领域

本申请涉及半导体制造领域，尤其涉及一种检测工艺的管控方法及检测工艺的管控系统。

背景技术

在半导体领域中，对工艺有严格的具体要求，因此需要检测工艺是否符合标准。在检测工艺的过程中，每一步骤的检测结果都可能影响下一步骤的检测结果，甚至影响其他检测项目的检测结果。如果涉及到跨站项目，则针对任意一项检测项目的修改，都需要对跨站计算的检测工艺进行相对应的修改，否则无法对制程工艺的结果进行有效的监控和正确的分析，进而对判断产品的合格性和稳定性产生不利影响。

但是，由于目前工程师需要新增或删除检测项目时都是通过人为的判定，并无系统的检测机制，容易造成计算层级混乱和计算结果错误。而且由于检测项目名称与计算方式之间并无联系，工程师无法快速根据检测项目名称判定检测内容。甚至由于工程师没有快速简单的途径用来确认修改的检测项目是否关联到跨站计算项目，若误将检测项目修改，会造成跨站计算项目没有办法正常计算。

因此如何提高对制程工艺管控的效率及准确性是需要解决的技术问题。

发明内容

本申请所要解决的技术问题是提供一种检测工艺的管控方法及检测工艺的管控系统，能够提高对制程工艺管控的效率及准确性。

为了解决上述问题，本申请提供了一种检测工艺的管控方法。所述检测工艺的管控方法包括：对所述检测工艺中的检测项目进行层级划分；按照预设的规则对所述层级命名后将上述层级命名结果存储在数据库中；接收操作台指令；判断指令类别，获得一判断结果；根据上述判断结果及数据库中的层级命名结果对所述操作台指令进行验证，获得一验证结果；根据验证结果执行操作台指令、报错指令或提示指令中的一个指令。

在一些实施例中，所述对所述检测工艺中的检测项目进行层级划分按照以下方式进行：将从机台端接收到的检测项目定义为第一层级检测项目；将需要依据第一层级检测项目的收值结果进行运算的检测项目定义为第二层级检测项目。

在一些实施例中，所述按照预设的规则对层级命名后将上述命名结果存储在数据库中是按照项目名称对第一层级进行命名，按照在项目名称后附带计算方式的表达式对除第一层级外的层级进行命名。

在一些实施例中，所述指令类别包括：新增检测项目及删除检测项目；所述获得一判断结果是指判断所述操作台获得的指令为新增检测项目还是删除检测项目。

在一些实施例中，根据上述判断结果及数据库中的层级命名结果对所述操作台指令进行验证，包括对指令类别为新增检测项目的操作台指令进行层级、层级关系、及计算方式的验证。

在一些实施例中，根据上述判断结果及数据库中的层级命名结果对所述操作台指令进行验证，包括对指令类别为删除检测项目的操作台指令进行跨站验证。

在一些实施例中，所述根据验证结果执行操作台指令、报错程序或提示程序包括：对指令类别为新增检测项目的操作台指令的层级、层级关系、及计算方式的验证均正确则执行操作台指令；对指令类别为新增检测项目的操作台指令的层级、层级关系、及计算方式的验证中有至少一个错误则执行提示程序。