[发明专利]检测工艺的管控方法及检测工艺的管控系统在审

专利信息
申请号: 202210010271.X 申请日: 2022-01-05
公开(公告)号: CN114356935A 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 徐莹;郑悦文 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: G06F16/22 分类号: G06F16/22;G06F16/2455;G06Q10/10
代理公司: 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 代理人: 孙佳胤
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 检测 工艺 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种检测工艺的管控方法,其特征在于,包括:

对所述检测工艺中的检测项目进行层级划分;

按照预设的规则对所述层级命名后将上述层级命名结果存储在数据库中;

接收操作台指令;

判断指令类别,获得一判断结果;

根据上述判断结果及数据库中的层级命名结果对所述操作台指令进行验证,获得一验证结果;

根据验证结果执行操作台指令、报错指令或提示指令中的一个指令。

2.根据权利要求1所述的检测工艺的管控方法,其特征在于,所述对所述检测工艺中的检测项目进行层级划分按照以下方式进行:将从机台端接收到的检测项目定义为第一层级检测项目;将需要依据第一层级检测项目的收值结果进行运算的检测项目定义为第二层级检测项目。

3.根据权利要求2所述的检测工艺的管控方法,其特征在于,所述按照预设的规则对层级命名后将上述命名结果存储在数据库中是按照项目名称对第一层级进行命名,按照在项目名称后附带计算方式的表达式对除第一层级外的层级进行命名。

4.根据权利要求3所述的检测项目的管控方法,其特征在于,所述指令类别包括:新增检测项目及删除检测项目;所述获得一判断结果是指判断所述操作台获得的指令为新增检测项目还是删除检测项目。

5.根据权利要求4所述的检测项目的管控方法,其特征在于,根据上述判断结果及数据库中的层级命名结果对所述操作台指令进行验证,包括对指令类别为新增检测项目的操作台指令进行层级、层级关系、及计算方式的验证。

6.根据权利要求4所述的检测项目的管控方法,其特征在于,根据上述判断结果及数据库中的层级命名结果对所述操作台指令进行验证,包括对指令类别为删除检测项目的操作台指令进行跨站验证。

7.根据权利要求5所述的检测项目的管控方法,其特征在于,所述根据验证结果执行操作台指令、报错程序或提示程序包括:对指令类别为新增检测项目的操作台指令的层级、层级关系、及计算方式的验证均正确则执行操作台指令;对指令类别为新增检测项目的操作台指令的层级、层级关系、及计算方式的验证中有至少一个错误则执行提示程序。

8.根据权利要求6所述的检测项目的管控方法,其特征在于,所述根据验证结果执行操作台指令、报错程序或提示程序还包括:对指令类别为删除检测项目的操作台指令的跨站验证结果为无关联跨站项目则执行操作台指令;对指令类别为删除检测项目的操作台指令的跨站验证结果为有关联跨站项目则执行报错程序。

9.一种检测工艺的管控系统,其特征在于,包括:

层级划分单元,对所述检测工艺中的各检测项目进行层级划分;

数据库存储单元,按照预设的规则对所述层级命名后将上述层级命名结果存储在数据库中;

指令接收单元,接收操作台指令;

判断单元,判断指令类别,获得一判断结果;

验证单元,根据上述判断结果及数据库中的层级命名结果对所述操作台指令进行验证,获得一验证结果;

执行单元,根据验证结果执行操作台指令、报错指令或提示指令中的一个指令。

10.根据权利要求9所述的检测工艺的管控系统,其特征在于,所述对所述检测工艺中的检测项目进行层级划分按照以下方式进行:将从机台端接收到的检测项目定义为第一层级检测项目;将需要依据第一层级检测项目的收值结果进行运算的检测项目定义为第二层级检测项目。

11.根据权利要求10所述的检测工艺的管控系统,其特征在于,所述按照预设的规则对层级命名后将上述命名结果存储在数据库中是按照项目名称对第一层级进行命名,按照在项目名称后附带计算方式的表达式对除第一层级外的层级进行命名。

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