[发明专利]一种用于天车的导向机构

摘要

一种用于天车的导向机构,包括导向部和设在导向部上方的上部导轨，所述导向部包括设在天车顶部连接座中央的滑轨，所述滑轨上滑动连接有天车导向轮组件，所述天车导向轮组件通过一带圆角矩形槽的连接块铰接摇摆执行件，所述摇摆执行件通过驱动电机进行驱动，所述连接座的左侧、中部、右侧分别设有左转弯限位块、中间段限位块、右转弯限位块，所述上部导轨包括3段竖梁。本发明解决了天车在过弯时的碰撞震动，避免晶圆因震动而受损，同时避免了细小粒子的产生，保证了无尘室的环境使用要求。